次出机的28纳米要害尺度电子束量丈量产设备，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，在电子光学系统、运动渠道、电子电路和软件等方向完成了彻底自研，能有用处理我国半导体量查验测验范畴要害中心难题，关于添补我国集成电路工业要害环节空白、进步国产芯片高端配备自主可控水平具有里程碑含义。
据了解，电子束晶圆量检测设备是芯片制作范畴除光刻机外，技能难度最大、重要程度最高的设备之一。
CD-SEM（要害尺度量测设备）主要是经过关于要害尺度的采样丈量，完成对IC制作的完好过程中，光刻工艺后所构成图形尺度进行监控，以保证良率。
官网显现，无锡亘芯悦科技有限公司于2022年在无锡高新区微纳园注册建立，由中国工程院院士丁文江、中国科学院院士张泽以及世界闻名工程技能专家和上市公司创始人一起建议，专心于研制、制作和出产半导体前道量测与检测设备。
公司自落地无锡高新区以来，在研项目从始至终坚持较高水平的研制投入，现在公司多款前道量测与查验测验产品已进入要害功能优化和市场推广阶段。
该公司供给全系列半导体要害尺度扫描电子显微镜 (CD-SEM) 产品，满意多种半导体制作工艺的量测需求， 从研制到大规模出产，为您供给精准、高效的工艺操控处理方案。
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